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1959年前蘇聯(lián)學者里沃夫(В.B.ПьBOB)設計出石墨爐原子化器，1960年提出了電熱原子化法(即非火焰原子吸收法)，使原子吸收分析的靈敏度有了極大提高。

1965年威尼斯(J.B.Willis)將氧化亞氮-乙炔火焰用于原子吸收法中，使可測定元素數(shù)目增至70個。

1967年馬斯曼(H.Massmann)對里沃夫石墨爐進行改進，設計出電熱石墨爐原子化器(即高溫石墨爐)。

20世紀60年代后期發(fā)展了"間接原子吸收分光光度法"，使過去難以用直接法測定的元素和有機化合物的測定有了可能。

1971年美國瓦里安(Varian)公司生產(chǎn)出世界上*臺縱向加熱石墨爐，并首先發(fā)展Zeemen背景校正技術。

1981年原子吸收分析儀實現(xiàn)操作自動化。

1984年*臺連續(xù)氫化物發(fā)生器問世。

1990年推出世界上*進的Mark V1焰燃燒頭。

1995年在線火焰自動進樣器(SIPS8)研制成功并投入使用。

1998年*臺快速分析火焰原子吸收220FS誕生。

2002年世界上*套火焰和石墨爐同時分析的原子吸收光譜儀生產(chǎn)并投放市場。

現(xiàn)在，原子吸收分光光度計采用*的電子技術，使儀器顯示數(shù)字化、進樣自動化，計算機數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)使整個分析實現(xiàn)自動化。

我國在1963年開始對原子吸收分光光度法有一般性介紹。1965年復旦大學電光源實驗室和冶金工業(yè)部有色金屬研究所分別研制成功空心陰極燈光源。1970年北京科學儀器廠試制成WFD-Y1型單光束火焰原子吸收分光光度計。現(xiàn)在我國已有多家企業(yè)生產(chǎn)多種型號、性能較先進的原子吸收分光光度計。

原子吸收分光光度法應用也有一定的局限性，即每種待測元素都要有一個能發(fā)射特定波長譜線的光源。原子吸收分析中，首先要使待測元素呈原子狀態(tài)，而原子化往往是將溶液噴霧到火焰中去實現(xiàn)，這就存在理化方面的干擾，使對難溶元素的測定靈敏度還不夠理想，因此實際效果理想的元素僅30余個;由于儀器使用中，需用乙炔、氫氣、氬氣、氧化亞氮(俗稱笑氣)等，操作中必須注意安全。